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浩瀚色譜(山東)應用技術開發有限公司
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高純溴化氫測定氣相色譜儀
  • 高純溴化氫測定氣相色譜儀

  • 發布時間:2023-12-17 13:46:56
  • 產品簡介:
    氣相色譜儀
    凈化裝置
咨詢熱線:0632-5667636

高純電子級hbr主要用于8寸及12寸芯片制造工藝中的多晶硅刻蝕,是芯片先進制程的核心氣體之一。此外,溴化氫由于具備作為催化劑或反應物的能力而被半導體行業作為未來小于7nm制程中處理大溝槽結構的候選刻蝕氣體之一。高純電子級溴化氫特種氣體具有獨特的刻蝕和沉積特性,短期里很難被其他特氣替代,已經成為目前集成電路先進制程材料受制于人的“瓶頸”。

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浩瀚色譜(山東)應用技術開發有限公司,研制生產溴化氫中微量氣體雜質的氣相色譜分析方法,采用配備反吹氣路的系統實現了高純溴化氫中微量H_(2)、O_(2)、N_(2)、CO、CH_(4)及CO_(2)的分離檢測。

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5A分子篩填充柱5A分子篩填充柱

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Haohan?790 GC System 氣相色譜儀

現代實驗室始終面臨各種各樣的實際問題,需要采用切實可行的方法予以解決。處理復雜樣品基質、保持數據完整性以及滿足用戶培訓需求等問題可能導致大量的時間和資源浪費。

Haohan?790 GC System 氣相色譜儀,?是浩瀚為這些問題提供的一款高效,快速氣相色譜儀,在環境,生物,食品,醫藥,石化,衛生,院校等行業得到廣泛應用.

Haohan?790 GC System 氣相色譜儀詳情:

1.?工作條件

1.1.?溫度: 5°C -- 35°C

1.2.?濕度:5 – 85%

1.3.?電源:AC 220±10%;50±0.5Hz

2.?柱溫箱

2.1.?溫度:室溫5°C -- 400°C

2.2.?程序升溫:7階程升,可擴充16階

2.3.?在5min內,從400°C降溫到50°C

2.4.?溫度精度:室溫每波動1°C ,柱溫箱的溫度波動<0.1°C

2.5.?雙通道柱流失補償

3.?加熱區域

3.1.?除柱溫箱外,有5個獨立的加熱區域(3個進樣口,2個檢測器,2個輔助區)/可擴充

3.2.?輔助區的zui大溫度:400°C

4.?隔膜吹掃填充柱進樣口

4.1.?手動控制壓力/流量(可選配電子控制)

4.2.?zui高溫度400°C

4.3.?壓力設定范圍:0-100psi

4.4.?氣體流量設定范圍:0-100mL/min

4.5.?可用于1/4”、1/8”填充柱和0.53mm毛細柱

5.?分流/不分流進樣口

5.1.?可以用于50um到530um的色譜柱

5.2.?分流比zui大可到3000:1

5.3.?省氣模式可以節約氣體用量(選配)

5.4.?EPC功能(選配)。

5.5.?電子控壓精度:0.001 psi(千分之一psi)(選配)

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